ПОДГОТОВИТЕЛЬНЫЕ ЭТАПЫ РОСТА СЛИТКОВ МУЛЬТИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
В статье представлены результаты применения различных схем подготовки исходного сырья и возвратных отходов производства для роста слитков мультикристаллического кремния. Описаны основные подготовительные технологические операции для различных видов сырья и отходов, электро-физические характеристики материалов, критерии возможности повторного использования отходов, методы предварительной обработки. Представлен вариант применения метода Чохральского для возврата в производство отходов, ранее считавшихся невозвратными (верхние части слитков мультикремния).
eLIBRARY.RU Наше издание в Научной Электронной Библиотеке eLIBRARY.RU
Публикационная активность журнала РИНЦ
Справочник по УДК Ресурс описывает универсальную десятичную классификацию (УДК)
Антиплагиат Система автоматической проверки текстов на наличие заимствований
МГТУ имени Н. Э. Баумана официальный сайт университета