ОПРЕДЕЛЕНИЕ ТОЛЩИНЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ

Опубликовано в выпуске: 2/2019 (24) , 15.06.2019
В данной работе проводится исследование тонких пленок алюминия, нанесенных на кремневую подложку или сформированную на ней термическую пленку диоксида кремния, методом атомно-силовой микроскопии с целью определения их толщины. Описаны физические основы и основные режимы работы атомно-силовой микроскопии. Приведены методики измерений и анализа полученных результатов.

Новости

Полезные ресурсы