Статья

В работе производится выбор и обоснование состава слоев пленок, не содержащих драгоценных металлов и сильно окисляющихся редкоземельных металлов, с целью реализации пленочного постоянного магнита с намагниченностью в плоскости пленки для подмагничивания низкокоэрцитивных пленок, используемых в магниторезистивных интегральных схемах на монокристаллическом кремнии. Высококоэрцитивное состояние (ВКС) для системы дисперсионно-твердеющего сплава (ДТС) сплава Fe-Cr-Co, может быть достигнуто после отжига. При получении пленок указанной системы магнетронным напылением реализуется низкокоэрцитивное состояние, а после отжига на ВКС, такая однослойная пленка разрушается. Для сохранения в целостности слоя ДТС после отжига предлагается на кремний в одном вакуумном процессе напылять адгезионно-барьерный слой ванадия, затем компенсационный слой меди, на который затем напылять слой ДТС.