ПОДГОТОВИТЕЛЬНЫЕ ЭТАПЫ РОСТА СЛИТКОВ МУЛЬТИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
В статье представлены результаты применения различных схем подготовки исходного сырья и возвратных отходов производства для роста слитков мультикристаллического кремния. Описаны основные подготовительные технологические операции для различных видов сырья и отходов, электро-физические характеристики материалов, критерии возможности повторного использования отходов, методы предварительной обработки. Представлен вариант применения метода Чохральского для возврата в производство отходов, ранее считавшихся невозвратными (верхние части слитков мультикремния).