Статья

Кислород и углерод – основные примеси, определяющие электрофизические параметры кремния, применяемого при производстве фотоэлектрический преобразователей. Поэтому вопросы контроля их содержания и характера распределения по длине растущих кристаллов являются, несомненно, весьма актуальными. В статье представлены результаты экспериментального определения начальных концентраций и коэффициентов распределения углерода и кислорода по высоте слитков мультикремния p-типа, легированного бором. Слитки получены методом нормальной направленной кристаллизации на установках DSS-240. Расчет начальных концентраций примесей и их коэффициентов распределения производился путем решения системы уравнений в программе MathCAD. Обсуждаются причины различия полученных экспериментальных значений коэффициентов распределения от литературных данных.