Статья

Разработана термодинамическая модель процессов легирования эпитаксиальных слоев арсенида галлия бериллием в хлоридно-гидридной системе. Изучены закономерности формирования состава газовой фазы в зависимости от основных факторов: температуры (600-900 ˚С) и параметра Cl/H (10-3-100). В предположении идеального поведения раствора бериллия в арсениде галлия получены зависимости уровня легирования этим элементом, а также уровень легирования в результате побочного легирования арсенида галлия кремнием. Сделан вывод, что получение р-типа проводимости в арсениде галлия в хлоридно-гидридной системе невозможно из-за наличия эффекта компенсации.