Разработка многофункциональной установки для инжекционных исследований МДП-структур
Опубликовано в выпуске:
3/2018 (21)
, 30.11.2018
В данной работе разработана многофункциональная экспериментальная установка для исследования характеристик МДП-структур, позволяющая реализовать метод сильнополевой инжекции носителей заряда в подзатворный диэлектрик в режимах многоуровневой и управляемой токовой нагрузки. Для получения информации об изменении зарядового состояния МДП-структуры анализируются временная зависимость напряжения в процессе стрессового воздействия. Описаны структурная и принципиальная электрическая схемы разработанной установки, а также приведены ее основные параметры.