АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ УСТАНОВКА ИЗМЕРЕНИЯ КВАЗИСТАТИЧЕСКИХ ВОЛЬТ-ФАРАДНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК МДП-СТРУКТУР
Опубликовано в выпуске:
2/2020 (29)
, 31.08.2020
В работе рассматривается автоматизированная установка измерения квазистатических вольт-фарадных (C-V) характеристик МДП-структур. Установка реализована на базе измерительного оборудования National Instruments. Приведена блок-диаграмма управляющей установкой программы, реализованной в NI LabVIEW. На установке проведены измерения квазистатических С-V характеристик тестовых МДП-структур.