КОНСТРУКЦИЯ ДАТЧИКА ГАЗОАНАЛИЗАТОРА В ТОЛСТЫХ ПЛЕНКАХ
Опубликовано в выпуске:
4/2021 (35)
, 30.12.2021
В статье рассмотрены конструкторские и технологические особенности работы датчика газоанализатора на базе толстых пленок. Изучены способы селекции газов. Описаны методы получения и обработки информационных сигналов сенсоров. Приведено обоснование выбора толстопленочной технологии на основе рыночных и технологических трендов.