ТЕХНИКА ОБРАБОТКИ ИСТОЧНИКОВ ЭЛЕКТРОНОВ С НАНОПОКРЫТИЯМИ ДЛЯ ИЗДЕЛИЙ КВАНТОВОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ
Опубликовано: 25.12.2015
Опубликовано в выпуске:
4/2015 (4)
Рассматриваются способы получения холодных источников электронов для миниатюрных атомарных и молекулярных лазеров, достигнутые к настоящему времени. Описана и проанализирована техника очистки подложек и холодных источников электронов применительно к использованию их в малогабаритных газоразрядных изделиях квантовой электроники. Показано, что принятая в настоящее время технология вакуумно-термической обработки моноблочных малогабаритных резонаторов характеризуется неоправданно высокой трудоемкостью, которая может быть снижена изменением их конструкций. Неэффективность существующей вакуумно-термической обработки доказана масс-спектрометрическими исследованиями.